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集成吊顶 led照明换气二合一led灯具代理协议

发布时间:2019/10/22 16:12

  地宝网照明灯具该刻蚀机由工艺腔、传输腔、气体控制盒、射频系统、★-●△▪️▲□△▽真空系统、PK牛牛开奖温控系统以及装载模块(选配)等部分组成。☆△◆▲■▲●其中上下电极采用13.56MHz、1500W射频功率,托盘尺寸为330mm,PSS刻蚀使用Al托盘,上面覆盖石英盖板,可装载22片2英寸蓝宝石衬底片。LED刻蚀深度较深,刻蚀速率较慢,刻蚀时间较长(10~30min),考虑到PR的挥发、▲★-●刻蚀均匀性以及刻蚀过程中等离子体轰击产生的热量去除,对下电极散热能力要求较高,工艺中基座温度一般设置为-10~-20℃。△▪️▲□△•☆■▲LED刻蚀副产物的沸点较高,很难被去除,所以LED刻蚀设备的腔室及内衬需要加热,以减少刻蚀副产物的沉积。●

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